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半导体测试设备

  • 非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪

非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪

  • 产品描述:非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
非接触式全自动曲率及薄膜应力测试仪
全自动二维或三维测量弯曲、弧度、坡度和表面曲率,
软件模块用于计算硅片和玻璃基板的薄膜应力(晶圆应力)
应用
平板扫描用于非接触式测量各种反射表面的平整度、波纹度、平均半径和薄膜应力,如硅片、镜子、X射线镜(Goebel镜)、金属表面或抛光聚合物。光学测量原理确保了高精度。它是基于测量垂直入射激光束沿等宽直线的反射角。通过测量点之间反射角的变化,可以精确地计算出表面形状。对于某些应用,反射角本身很有趣。因此,软件还提供了这种测量选项。
对于半导体技术中的应用,涂层中的薄膜应力可以通过测量涂层前后的半径来计算。
大测量区域
所用测量原理的一个特点是它独立于测量领域。
因此,在不降低精度的情况下,可以任意增大标准测量区域直径200毫米。
测量精度高
平板扫描具有较高的测量精度。测量系统的分辨率为0.1弧秒。表面形状再现性达100nm。
测量范围大,工作距离大
测量范围是可以在一次扫描中测量的最大箭头高度(或最小可测量曲率半径)。平面扫描的特点是测量范围非常大,这是无法实现与竞争性的测量方法,如条纹干涉仪。
因此,平面扫描适用于测量具有强曲率的表面,如Goebel反射镜、硅片或其他。使用的光学测量原理工作时与工作距离无关,保证了较高的工作距离,因此不存在损坏试样的危险。

可选二维或三维测量
可选,根据设备类型,可以完成单线扫描或完整的3D扫描。
三维扫描是由许多具有自动样本定位的单行扫描组装而成的。
该软件为测量结果的图形和数字表示提供了所有最先进的可能性,如三维表示、剖面图和测量协议。
薄膜应力计算软件模块
对于半导体技术和所有应用,在完成表面改性(如涂层或涂层去除)的情况下,软件配备了用Fowkes理论计算薄膜应力的模块。通过这种方法,平板扫描可以快速而容易地测量薄膜应力。 薄膜应力是根据涂层前后的平均曲率半径计算出来的。
技术参数
再现性表面曲率(p-v):小于100纳米
光学测量系统的分辨率:0.1弧秒
光学测量系统精度: 1弧秒
测量速度: 10毫米--30毫米/秒
测量区域:标准直径200 mm
试样厚度:不限
最小曲率半径和根据扫描长度确定的箭头高度:
200毫米:R=18米290微米,
300毫米:R=25米435微米,
500毫米:R=43米725微米
自由工作距离:不限
测量波长:标准670纳米
自动顺序测试
上一个:沉积用等离子体 下一个:四点探针

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