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光刻系统

  • NANO IMPRINT KIT纳米压印系统
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NANO IMPRINT KIT纳米压印系统

  • 产品描述:纳米压印系统

纳米压印系统

Midas推出了一个台式、独立的纳米压印平台。
该平台提供了一个带有微定位装置的机械平台,用于安装纳米压印室、UV固化源和校准显微镜。

它既可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模对准器,同时为您的整个压印过程提供可编程的自动控制。


独有的特点:
•分辨率低于10nm,产率为99%
•支持硬模和软模
•可变的模具和基板尺寸提供了无与伦比的便利性和灵活性
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量
•自动释放过程可防止分离过程中模具/基板损坏,并最大限度地提高每个印记的产量
•多种应用的多功能流程:
•光学设备、显示器、数据存储、生物医学
•器件、半导体IC、化学合成和先进材料
•带触摸屏用户界面的可编程PLC允许通过定制参数进行过程控制
•专利UV固化纳米压印抗蚀剂对硬度或厚度没有限制,与传统光刻工艺兼容

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