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光刻系统

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THU SERIES

  • 产品描述:纳米压印系统


THU SERIES

Midas推出了一个独立的热纳米压印、热压印和UV纳米压印站:THU系列 THU400/600/800。这种多功能工具提供各种纳米压印功能:热纳米压印、热压印、UV纳米压印、热压印和UV纳米压印组合。该过程是可编程的,具有用户友好的界面。它提供高质量和可重复的结果。

•基板尺寸 THU 400:最大4英寸,THU 600:最大6英寸,THU 800:最大8英寸圆形,不规则形状和尺寸兼容

•压印区域与基板相同

•模板尺寸THU 400:最大4英寸,THU 600:最大6英寸,THU 800:最大8英寸

•压印压力:高达12巴

•压印/压花温度:高达300°C

•紫外线灯功率:500 W

•对准功能:可选配


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